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瑞研光学小课堂:光学元件表面平面度概念讲解

点击次数:4473 更新时间:2019-06-17

瑞研光学小课堂:光学元件表面平面度概念讲解

 

表面平面度是一种测量表面精度的规格类型,它用于测量反射镜、窗口片、棱镜表面等平面的偏差。

瑞研光学一般使用光学平晶来测量此偏差,如果是镀膜产物,一般是膜之前要检测表面精度,光学平晶是一种高质量、高精度的参考平面,是一种标准件,用于比较试样的平滑度。当所测试的光学产物的平面靠着光学平晶放置时,会出现条纹,其形状表示所检测的光学产物的表面平滑度。如果这些条纹间隔相等,并且是平行的直线,那么被检测的光学表面至少像参考光学平晶一样平展。如果条纹是弯曲的,则两个虚线(一个虚线与条纹中点相切,另一个虚线穿过同一个条纹的端点)之间的条纹数量会指出平滑度错误。

平滑度的偏差通常是按波纹值(&濒补尘产诲补;)来测量的,它们是由多个波长的测试源组成。一个条纹对应&蹿谤补肠12;的波长。平滑度为1&濒补尘产诲补;,则表示一般的质量级别;平滑度为&濒补尘产诲补;/4,则表示的质量级别;平滑度为&濒补尘产诲补;/20,表示高精度的质量级别。

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